Il Comune di Cavaria con Premezzo ha una superficie territoriale di 333 Ha ed un'altitudine di 257 metri sul livello del mare minima e di 320 metri massima (Fonte: Relazione Previsionale e Programmatica 2011/2013).
Comprende le seguenti frazioni: Cavaria e Premezzo.
Al 31 dicembre 2010 la popolazione del Comune è di 5718 abitanti.
Confina con il Comune di Besnate, Jerago con Orago, Oggiona Santo Stefano, Cassano Magnago e Gallarate.
Dati statistici storici sulla popolazione
Il Comune di Cavaria con Premezzo ha subito il seguente incremento dalla sua costituzione:
| Anno |
Popolazione |
| 1892 |
788 |
| 1917 |
1450 |
| 1982 |
4650 |
| 1991 Censimento |
4623 |
| 1998 |
4820 |
| 2001 Censimento |
4788 |
| 2002 |
4868 |
| 2003 |
4953 |
| 2004 |
4976 |
| 2005 |
5066 |
| 2006 |
5131 |
| 2007 |
5267 |
| 2008 |
5483 |
| 2009 |
5585 |
| 2010 |
5718 |
